HSPPAR003D

DOCUMENT No. : HSPPAR003D (Page 1/8) Pressure Sensor HSPPAR003D Data Sheet 1. 弊社製品番号 ALPS product No. HSPPAR003D 2. 適用範囲 Application この仕様書は気圧検出用の圧力センサに対し適用する。 This specifications applies to air pressure sensor. 3. 製品概要 General description 本製品は、シリコンダイアフラム上にピエゾ抵抗が形成されており、圧力が加わるとダイアフラムが たわむことでピエゾ抵抗に応力が発生し抵抗率が変化するピエゾ抵抗効果を利用した圧力センサ。 セラミックパッケージにより小型で半田基盤実装が容易なことが特徴。 ・This product is a pressure sensor using effect of piezo resistive bridge circuit formed on silicon diaphragm. ・Piezo resistance is changed according to strain by applying pressure to the diaphragm. ・Other feature of this sensor is small size and easy solder base mounting by ceramic package. ・Pb free and RoHS compliant. 4. 仕様内容 Content of specifications 4-1. 電気的仕様 Electric specification Page 2, 3 4-2. ブロック図 Functional block diagram Page 3 4-3. 外形図 Full view Page 4 Page 5 4-4. 推奨半田条件 Soldering conditions (Recommendation) 4-5. 信頼性仕様 Reliability specification Page 5, 6 4-6. 包装仕様 Packing specification Page 7 5. 法的免責事項 　Legal Disclaimer Page 8 HEAD OFFICE 1-7, YUKIGAYA-OTSUKA-MACHI, OTA-KU, TOKYO, 145-8501, JAPAN PHONE +81(3)3726-1211 FAX +81(3)3728-1741 NAGAOKA PLANT 1-3-5, HIGASHITAKAMI-MACHI, NAGAOKA-CITY, NIIGATA-PREF, 940-0006, JAPAN PHONE +81 258-24-4111 FAX +81 258-24-4110 This specification is subject to change without notice. 11 10 76548293 (Page 2/8 ) 4-1. Electrical specifications Item Symbol 最大定格　Absolute Maximum Ratings 最大駆動電流 Ｉｃｃ Ｍａｘ supply current 最大負荷圧力 Pmax Max load pressure 保存温度範囲 Tstg Storage temperature ESD耐圧 HBM ESD 使用条件　Operating conditions 圧力の種類 Classify of Pressure 駆動電流 Supply current 測定圧力範囲 Range of measurement pressure 動作温度範囲 Operating temperature 非線形性 Non Linearity min. Specification Typ. max. [mA] - - 3 [kPa] 26 - 300 [deg] -40 - +150 [V] 1000 Notes [-] 絶対圧 Absolute Icc [mA] 0.55 Popr [kPa] 50 Topr [deg] -20 - +85 [kohms] 4.0 5.5 7.0 [mV] 39.0 44.0 49.0 50--110kPa [mV] 73.0 79.0 85.0 110kPa [mV] --- (72.6) --- 101.3kPa [%FS] -2.0 3.0 8.0 110kPa 85℃ [%FS] -2.0 3.0 8.0 110kPa -20℃ TCOV_50H [%FS] -3.0 1.0 6.0 50kPa 85℃ TCOV_50L [%FS] -2.5 1.5 6.5 50kPa -20℃ TCSV_H [%FS] -3.0 2.0 7.0 85℃ TCSV_L [%FS] -4.0 1.0 6.0 -20℃ NL [%FS] -1.0 0.0 1.0 電気的仕様　Electrical specifications ブリッジ抵抗 Imp Bridge Resistance 出力スパン FS Full Span Output オフセット電圧@110kPa Vout(110) Output Voltage@110kPa オフセット電圧@101.3kPa Vout(101.3) Output Voltage@101.3kPa オフセット電圧温度特性 TCOV_110H Temperature Characteristics of Offset Voltage TCOV_110L 感度温度特性 Temperature Characteristics of Span Voltage Unit. 110 (Page 3/8 ) *Definitions ブリッジ抵抗　Bridge Resistance 0.55mA, 110kPa 出力スパン　Full Span Output FS(25) = Vout(110KPa,25℃) - Vout(50kPa,25℃) オフセット電圧　Output Voltage Vout(110kPa) オフセット電圧温度特性　Temperature Characteristics of Offset Voltage TCOV_110H = ( Vout(110kPa, 85℃) - Vout(110kPa, 25℃) ) / FS(25) x 100 TCOV_110L = ( Vout(110kPa, -20℃) - Vout(110kPa, 25℃) ) / FS(25) x 100 TCOV_50H = ( Vout(50kPa, 85℃) - Vout(50kPa, 25℃) ) / FS(25) x 100 TCOV_50L = ( Vout(50kPa, -20℃) - Vout(50kPa, 25℃) ) / FS(25) x 100 感度温度特性　Temperature Characteristics of Span Voltage TCSV_H = ( FS(85℃) - FS(25℃) ) / FS(25℃) x 100 TCSV_L = ( FS(-20℃) - FS(25℃) ) / FS(25℃) x 100 非線形性　Non Linearity NL = ( Vout(80kPa) - ( Vout(50kPa) + Vout(110kPa) ) /2 ) / FS x 100 4-2. ブロック図 Functional block diagram ③Icc *Vout = Output(+) - Output(-) 0 ②Output (+) ④Output (-) ①GND (Page 4/8 ) 4-3. 外形図 Full view *上面図　Top view *側面図　Side view *底面図　Bottom view Index Mark ① ④ ② ③ 圧力導入口 *正面図　Front view *ピン配置　Pin-layout ① ② ③ ④ Pin No. GND Output(+) Icc Output(-) *推奨ランド　Recommend foot print ① ④ ② ③ (Page 5/8 ) 4-4. 推奨半田条件 Soldering conditions (Recommendation) Temperature Peak temperature Pre-Heat Heating Time 4-5. 信頼性仕様 Reliability specifications (1) 信頼性試験投入品の前処理 Pre-treatment of Reliability test parts 【125℃×24Hr】　＋　【吸湿 (85℃・85%)×168Hr】 + リフロー2回 【Baking 125℃×24Hr】　＋　【Moisture absorption (85℃・85%)×168Hr】 + Reflow2time Temperature(℃) *前処理リフロー 条件　(プロファイル） Pre-treatment Reflow condition Pre heat 60～180sec Tｓ min: 150℃ Tp : 260℃ T L : 220℃ 　tL : 60～150sec Ts max: 200℃ Heating Time (Page 6/8 ) (2) 試験内容 No. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 Test contents Item 試験項目 High Temp. Bias 高温通電試験 High Temp. Storage 高温保存試験 High Humidity and High Temp. 高温高湿通電試験 Heat cycle 温度サイクル試験 Reflow リフロー耐熱試験 Low Temp. storage 低温保存試験 Electrostatic Resistance(HBM) 静電耐圧試験(HBM) Pressure cycle 動作耐久(圧力サイクル)試験 Vibration 振動試験 Shock 衝撃試験 HAST Bias HAST(通電） Test condition 試験条件 Test Time 試験時間 Qty 数量 Criterion 判定基準 125℃　Icc=0.55mA 1000Hr 22 *1 150℃ 1000Hr 22 *1 85℃　85%　Icc=0.55mA 1000Hr 22 *1 -65⇔150℃ 100cycle 22 *1 JEDEC　ＭＳＬ4 3回 11 *1 -55℃ 1000Hr 22 *1 100PF　1.5kΩ　1kV --- 3 *1 400ｋPa⇔50ｋPa 10000cycle 22 *1 --- 11 *1 --- 11 *1 50Hr 22 *1 正弦波 20～2000Hz 20G、4cycel 、 4min./cycel 1500G 0.5msec 正弦波 ±X ±Y ±Z　各5回 130℃　85%RH　2atm　Icc=0.55mA (3) 判定基準 Criterion FS sensitivity(出力スパン)