1. 物料型号:CPW2870B15,这是一个电源型号。
2. 器件简介:
- 该器件由CPI Canada公司制造,采用谐振功率转换技术,具有高可靠性。
- 提供36kW的功率,适合用于高功率处理,如溅射系统。
- 该技术具有广泛的负载范围、高可靠性(短路证明、坚固的功率链)和广泛的控制范围。
3. 引脚分配:
- 输入功率要求:396V - 528VAC,61安培最大,50/60Hz,4线3相+接地。
- 输出功率:36kW。
- 前面板监控输出电压、功率和电流。
- 数字仪表和用户界面,支持远程模拟传感和数字接口(RS-232, 422, 485)。
4. 参数特性:
- 效率:大于90%。
- 冷却方式:强制空气冷却,环境温度最大35°C。
- 重量:大约115磅。
- 尺寸:8.72英寸高x 26.2英寸深,19英寸机架安装。
- 点火电压:1000V。
- 输出电压:最大575V。
- 输出电流:最大120A。
5. 功能详解:
- 该电源具有过温、过流、过压、过功率和输入欠压保护。
- 活性电弧抑制:内置,能在400纳秒内响应电弧,并在10微秒内抑制电弧。
6. 应用信息:
- 适用于多种不同功率、不同材料和氩气压力的溅射过程。
- 可以根据特定客户需求调整负载范围。
- 产品认证:IEC 60950, UL 60950, CSA 60950, CE。
- 产品合规:NEC, NFPA 79, SEMI-S2, SEMI-F47。
7. 封装信息:
- 高度:8.75英寸。
- 可以配置两个额外单元以提供108kW的输出功率,无需对单元或主机接口进行任何更改。